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RESEARCH
微細加工技術

モノづくりとは,「構造」をつくることです.したがって,いくら良い設計図を思い描いても,その構造がつくれなければ絵に描いた餅となってしまいます.逆に構造をつくる技術,すなわち加工技術の発展により,今までつくれなかった構造がつくれるようになれば,新たな機能をもったモノをつくることができます.

“There’s plenty of room at the bottom.”
世界中の研究者たちを極微世界でのモノづくりへと向かわせたこの言葉から55年.今では回路パターンの線幅が約10 nmという領域に達しました.コンピュータやインターネットがもたらした情報革命は,こうした加工技術の発達によるところが非常に大きいのです.

コンピュータの電子回路を製作するための加工技術から派生したMEMS技術.プロセス上,電子回路と組み合わせることが容易で,スマートフォンなどに用いられている加速度センサや自動車のガスセンサなど,既になくてはならない技術となっています.

本研究室では,MEMS技術をさらに発展させるような加工技術や,MEMS技術ではつくれない構造が製作できるプロセスなど,新たな微細加工技術の開発に力を入れています.